| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Mã số# | 525-020P |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Sân khấu kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Tỷ lệ tuyến tính X/Y | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 522-180H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 522-180J |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (500*400)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 522-280G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 500-030 |
|---|---|
| Kính kính | Ống kính telecentric kép 0.3X |
| Khoảng cách làm việc | 110mm |
| Lĩnh vực rộng | Ø30mm(28x24) |
| Đo lường độ chính xác | ±2um |
| Mã số# | 523-280K |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (600*500) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-180M |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (1500*1200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤3.0+L/200(um) |
| Mã số# | 528-180H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*400)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0.1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,2+L/200 ((um) |
