| Mã số# | 522-120H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,5um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2.0+L/200(um) |
| Mã số# | 522-180H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 522-180J |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (500*400)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 522-280G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-280K |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (600*500) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-480L |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (800*600)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-280L |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (800*600)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-180M |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (1500*1200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤3.0+L/200(um) |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Mã số# | 500-080 |
|---|---|
| Kính kính | Ống kính telecentric kép 0.088X |
| Khoảng cách làm việc | 120MM |
| Lĩnh vực rộng | Ø116mm(94x76) |
| Đo lường độ chính xác | ±4um |
