| Mã số# | 523-180M |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (1500*1200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤3.0+L/200(um) |
| Mã số# | 524-220H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
| Mã số# | 523-280N |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (1200*1000)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2,5+L/200(um) |
| Mã số# | 524-220H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
