| Mã số# | 525-020D |
|---|---|
| Bàn làm việc bằng đá granit | (310*220)mm |
| Bàn làm việc bằng kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Hành trình trục Z | 100mm |
| Mã số# | 525-320H |
|---|---|
| Bàn làm việc bằng đá cẩm thạch | (605*450)mm |
| Bàn làm việc bằng kính | (456*348)mm |
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Mã số# | 524-220H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
| Mã số# | 524-120H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
| Mã số# | 525-020P |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Sân khấu kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Tỷ lệ tuyến tính X/Y | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 525-120H |
|---|---|
| Bàn làm việc bằng đá cẩm thạch | (605*450)mm |
| Bàn làm việc bằng kính | (456*348)mm |
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Mã số# | 525-120G |
|---|---|
| Bàn làm việc bằng đá cẩm thạch | (505*350)mm |
| Bàn làm việc bằng kính | (356*248)mm |
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Mã số# | 525-020D |
|---|---|
| Bàn làm việc bằng đá granit | (310*220)mm |
| Bàn làm việc bằng kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Hành trình trục Z | 100mm |
| Mã số# | 523-220H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2,5+L/200(um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
