| Mã số# | 523-280K |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (600*500) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-480L |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (800*600)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 523-280L |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (800*600)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 528-180H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*400)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0.1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,2+L/200 ((um) |
