| Mã số# | 521-420J |
|---|---|
| Bàn làm việc bằng đá cẩm thạch | (650*580) mm |
| Bàn làm việc bằng kính | (540*440) mm |
| Hành trình trục X/Y | (500*400)mm |
| Hành trình trục Z | Hành trình hiệu quả 200mm |
| Mã số# | 523-180M |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (1000*800) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2.0+L/200(um) |