| Mã số# | 522-280G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Mã số# | 522-420G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | 0,5um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2.0+L/200(um) |
| Mã số# | 524-220H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
| Mã số# | 524-220H |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (400*300)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Khả năng lặp lại | 2um |
