| Mã số# | 525-380K |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (500*500) mm |
| Hành trình trục Z | 300MM |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Chế độ hướng dẫn | Đường sắt hướng dẫn tuyến tính chính xác |
| Mã số# | 523-280N |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (1200*1000)mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Tỷ lệ tuyến tính trục X/Y/Z | Độ phân giải: 0,1um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2,5+L/200(um) |
