| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Mã số# | 502-120G |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Kích thước (WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
| Trọng lượng | 380Kg |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Mã số# | 529-120g |
|---|---|
| Hành trình trục X/Y | (300*200) mm |
| Hành trình trục Z | 200mm |
| Thang đo tuyến tính 3 trục X/Y/Z (mm) | Độ phân giải: 0,5um |
| Độ chính xác của trục XY | ≤2,5+L/200(um) |