| Mã số# | 525-020P |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Sân khấu kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Tỷ lệ tuyến tính X/Y | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 525-020P |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Sân khấu kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Tỷ lệ tuyến tính X/Y | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 512-350 |
|---|---|
| Kích thước giai đoạn làm việc | 355x126mm |
| Giai đoạn làm việc Du lịch | 200x100mm |
| tập trung | 90mm |
| Độ chính xác | ≤3+L/200(um) |
