| Mã số# | 525-020dp |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Giai đoạn thủy tinh | (179,5*129,5) mm |
| X/Y Trục du lịch | (150*100) mm |
| Thang đo tuyến tính | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 525-020P |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Giai đoạn thủy tinh | (179,5*129,5) mm |
| X/Y Trục du lịch | (150*100) mm |
| Tỷ lệ tuyến tính X/Y | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 512-350 |
|---|---|
| Kích thước giai đoạn làm việc | 355x126mm |
| Du lịch sân khấu làm việc | 200x100mm |
| Tập trung | 90mm |
| Sự chính xác | ≤3+L/200(um) |
| Mã số# | 542-310 |
|---|---|
| Du lịch sân khấu làm việc | 355x125mm |
| Travel trục x/y | 200x120mm |
| Trục z | 110mm |
| Độ chính xác của phép đo | ≤3+l/200um |
| Mã số# | 542-310 |
|---|---|
| Du lịch sân khấu làm việc | 355x125mm |
| Travel trục x/y | 200x120mm |
| Trục z | 110mm |
| Độ chính xác của phép đo | ≤3+l/200um |
