| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Mã số# | 525-020P |
|---|---|
| Giai đoạn đá granit | (310*220) mm |
| Sân khấu kính | (179,5*129,5)mm |
| Hành trình trục X/Y | (150*100)mm |
| Tỷ lệ tuyến tính X/Y | Độ phân giải: 0,5um |
| Mã số# | 512-350 |
|---|---|
| Kích thước giai đoạn làm việc | 355x126mm |
| Giai đoạn làm việc Du lịch | 200x100mm |
| tập trung | 90mm |
| Độ chính xác | ≤3+L/200(um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
