Máy thử nghiệm phủ khe chính xác ST-5000G
Sản phẩmGiới thiệu:Số
Thông số kỹ thuật và thành phần của thiết bị:
Chất nền áp dụng:
(1)
| Phương pháp tạo màng | 500mm*500mm | (2) |
| Độ dày | ＜10u | (3) |
| Độ đồng nhất tạo màng | ＜15° | (4) |
| Nhiệt độ chất nền | 23±2℃ | Chất lỏng áp dụng: |
(1)
| Phương pháp tạo màng | Isopropanol, DMF, DMSO và các dung môi hữu cơ khác hoặc các dung môi hỗn hợp khác | (2) |
| Độ dày | 300nm~10um (Màng khô) | (3) |
| Độ đồng nhất tạo màng | 7%~50% | Hiệu suất quy trình thiết bị: |
(1)
| Phương pháp tạo màng | Phủ khe | (2) |
| Độ dày | 300nm~10um (Màng khô) | (3) |
| Độ đồng nhất tạo màng | 5% ≤ trong màng, 5% ≤ giữa các màng | Khuôn phủ |
:Số
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | Đá granite cấp 000 | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | 450mm | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | ≤3um | 4 | |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | Ra≤0.025 | 5 | |
| Việc phủ các loại khí hữu cơ dễ bay hơi được thiết kế với một kết nối xả | Loại miếng đệm, độ đồng đều độ dày miếng đệm ≤±2um | 6 | |
| Thiết kế của thiết bị để sử dụng nước, điện và hóa chất đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn quốc gia | ≤±10um | 7 | |
| Schneider | ≤10mm | 8 | |
| Schneider/CHINT | Nó thấp hơn môi 20um, giúp ngăn chặn hiệu quả môi va chạm | 9 | |
| Độ chính xác bề mặt chuyển động trục Y | Nó được tự động hiệu chỉnh bằng cảm biến dịch chuyển tuyến tính có độ chính xác cao | 10 | |
| Độ lặp lại trục Y | Buồng khuôn ở mức cao và có nhiều lỗ nhỏ | Bơm phủ: |
Số
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | SUS316L | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | Vòng đệm chống ăn mòn | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | 5ml | 4 | |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | Động cơ servo, vít bi | 5 | |
| Việc phủ các loại khí hữu cơ dễ bay hơi được thiết kế với một kết nối xả | 0.01ul/s | 6 | |
| Thiết kế của thiết bị để sử dụng nước, điện và hóa chất đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn quốc gia | 0.01s | 7 | |
| Schneider | 0~2000ul/s | 8 | |
| Schneider/CHINT | 2000ul/s² | 9 | |
| Độ chính xác bề mặt chuyển động trục Y | 1) Có thể thiết lập và điều chỉnh gia tốc và giảm tốc phủ; |
2) Chức năng trễ xả chất lỏng; 3) Chức năng hút ngược đầu cuối; 4) Chức năng bù nước tự động; 5) Điều chỉnh phủ đa giai đoạn; Các thành phần chuyển động: |
|
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | 2个 | 2 |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | 0.1um | 3 |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Động cơ servo, vít cấp mài, thanh dẫn hướng | 8 |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | ≤5um | 11 |
| Việc phủ các loại khí hữu cơ dễ bay hơi được thiết kế với một kết nối xả | 0~50mm/s | 6 |
| Thiết kế của thiết bị để sử dụng nước, điện và hóa chất đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn quốc gia | Truyền động nền tảng | 7 |
| Schneider | Động cơ servo, vít cấp mài, thanh dẫn hướng | 8 |
| Schneider/CHINT | 0~200mm/s | 9 |
| Độ chính xác bề mặt chuyển động trục Y | Tốt hơn ±5um | 10 |
| Độ lặp lại trục Y | ≤5um | 11 |
| Cấu hình chức năng | 1) Có thể thiết lập và điều chỉnh gia tốc và giảm tốc phủ; |
2) Khe phủ có thể điều chỉnh； 3) Khe có thể điều chỉnh của phần rút cuối; Nền tảng phủ: |
Số
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | Đá granite cấp 000 | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | 500*500mm | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Độ phẳng≤±5um | 4 | |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | Hấp phụ chân không nền tảng | 5 | |
| Việc phủ các loại khí hữu cơ dễ bay hơi được thiết kế với một kết nối xả | Thủ công | 3 | |
| Thiết kế của thiết bị để sử dụng nước, điện và hóa chất đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn quốc gia | Thủ công | 3 |
Số
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | PFA | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | Vật liệu bóc, thể tích 100ml | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Bể được điều áp | 4 | |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | Làm bằng thép không gỉ | Bộ phận làm sạch trước khi phủ: |
Số
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | Nền tảng phủ trước | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | Thủ công | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Nó được sử dụng khi thiết bị không hoạt động, đường ống sạch và chất thải được thải ra | Giao diện người-máy: |
|
Thương hiệu |
Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | Nền tảng phủ trước | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | Quá trình phủ của mỗi chất nền có thể được xem, bao gồm các thông số tốc độ và vị trí của mỗi trục của máy phủ tại mỗi thời điểm trong quá trình phủ | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Ba loại quyền hạn hoạt động để đăng nhập. |
Các hành động thủ công, bán tự động và tự động của thiết bị đều có thể được vận hành trên giao diện Nắp chống bụi |
| Thương hiệu | Thông số kỹ thuật | Ghi chú | 1 |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | Hợp kim, Tấm đục lỗ, FFU, Dải bịt kín | 2 | |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | Trong suốt có thể quan sát tình trạng phủ trong thời gian thực. FFU làm sạch áp suất dương vi mô đảm bảo rằng môi trường bên ngoài tốt hơn môi trường bên ngoài cấp 1.000 | 3 | |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Vỏ ngoài được dành riêng với các cổng xả hữu cơ và kích thước giao diện là DN80 | Cấu hình |
danh sách kiểm tra : Cấu hình chính:Số
Tên
| Thương hiệu | Vị trí của thương hiệu | 1 | PLC |
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | Đức | 2 | Động cơ servo |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | Trung Quốc | 3 | HMI |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | Trung Quốc | 4 | HMI |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | Nhật Bản | 5 | Vòng bi |
| Việc phủ các loại khí hữu cơ dễ bay hơi được thiết kế với một kết nối xả | Nhật Bản/Đức | 6 | Cầu dao thu nhỏ |
| Thiết kế của thiết bị để sử dụng nước, điện và hóa chất đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn quốc gia | Pháp/Trung Quốc | Cấu hình an toàn thiết bị: | 1 |
| Schneider | Pháp | 8 | Công tắc không khí |
| Schneider/CHINT | Pháp/Trung Quốc | Cấu hình an toàn thiết bị: | 1 |
Công tắc khẩn cấp
| Nắp sạch, giao diện vận hành, hộp điều khiển điện và các vị trí khác được trang bị công tắc EMO và có thể dừng nhanh chóng ở nhiều điểm trong trường hợp khẩn cấp | 2 | Khóa liên động an toàn |
| Nguồn gốc của các mối nguy hiểm của máy sử dụng thiết bị khóa liên động phần cứng an toàn, thiết bị này sẽ dừng hoạt động của các bộ phận có thể gây thương tích khi mở nắp bảo vệ của thiết bị. | 3 | Báo động âm thanh và ánh sáng |
| Thiết bị được lắp đặt với thiết bị báo động bằng âm thanh và hình ảnh ở vị trí dễ thấy hoặc do khách hàng chỉ định | 4 | Nắp sạch |
| Thiết bị được cách ly bằng một lớp vỏ bên ngoài và nắp chống bụi được giữ tránh xa môi trường bên ngoài đồng thời ngăn nhân viên vào trong khi vận hành | 5 | Thông gió và xả |
| Việc phủ các loại khí hữu cơ dễ bay hơi được thiết kế với một kết nối xả | 6 | khác |
| Thiết kế của thiết bị để sử dụng nước, điện và hóa chất đáp ứng các tiêu chuẩn an toàn quốc gia |
